itthon > hírek > Iparági hírek

A porlasztási cél mágneses porlasztási elve

2023-04-26

    Adjon hozzá egy merőleges mágneses teret és elektromos teret a porlasztott célelektróda (katód) és az anód közé, és töltse be a szükséges inert gázt (általában Ar gázt) a nagyvákuumkamrába. Az állandó mágnes 250-350 Gauss erősségű mágneses teret képez a célanyag felületén, amely a nagyfeszültségű elektromos térrel merőleges elektromágneses teret képez.
Az elektromos tér hatására az Ar gáz pozitív ionokká és elektronokká ionizálódik. A céltárgyra bizonyos negatív nagyfeszültség kerül, és a céltárgyból kibocsátott elektronok mágneses térnek vannak kitéve, és megnő a munkagáz ionizációs valószínűsége. A katód közelében nagy sűrűségű plazma képződik, és az Ar-ionok a Lorentz-erő hatására felgyorsulnak a célfelület felé, nagy sebességgel bombázva azt és a szubsztrátum felé repülve egy nagy kinetikus energiájú filmet rak le.

A magnetronporlasztást általában két típusra osztják: ágporlasztásra és RF-porlasztásra. Az ágporlasztó berendezés elve egyszerű, sebessége fémporlasztásnál is gyors. A rádiófrekvenciás porlasztásnak szélesebb körű alkalmazásai vannak, nemcsak vezetőképes anyagok porlasztására, hanem nem vezető anyagok porlasztására is. Ugyanakkor a reaktív porlasztást összetett anyagok, például oxidok, nitridek és karbidok előállítására is használják. Ha az RF frekvencia növekszik, akkor mikrohullámú plazmaporlasztás lesz. Jelenleg az elektronciklotron rezonancia (ECR) típusú mikrohullámú plazmaporlasztást használják általánosan.