itthon > hírek > GYIK

Mi az a porlasztó célanyag?

2023-05-17

A Magnetron porlasztásos bevonat egy új fizikai gőzbevonó eljárás, amely elektronágyús rendszert használ az elektronok kibocsátására és a bevont anyagra fókuszálására úgy, hogy a porlasztott atomjai az impulzus-konverziós elvet követik és nagy kinetikus energiával repülnek el az anyagtól a hordozóra. filmek letétbe helyezésére. Ezt a bevont anyagot porlasztó célanyagnak nevezik

A porlasztás a vékonyréteg-anyagok előállításának egyik fő technikája. Az ionforrások által generált ionokat használja fel a vákuumban történő gyorsításra és aggregálódásra, és nagy sebességű ionnyalábot képez, amely bombázza a szilárd felületet. Az ionok kinetikus energiát cserélnek a szilárd felületi atomokkal, aminek következtében a szilárd felületi atomok leválnak a szilárd anyagról és lerakódnak a hordozó felületére. A bombázott szilárd anyag a vékonyrétegek porlasztásos módszerrel történő felhordásának nyersanyaga, amelyet porlasztásos célanyagként ismerünk. Különféle típusú porlasztott vékonyréteg-anyagokat széles körben használnak félvezető integrált áramkörökben, adathordozókban, síkkijelzőkben és munkadarab felületi bevonatokban. A folyamat reakciókamrán belüli magas hőmérséklet és vákuum környezet miatt ezek a fématomok szemcséket képezhetnek, amelyeket ezután mikrolitográfiával mintáznak és maratnak, ami fémhuzalrétegeket eredményez. A chip adatátvitele teljes mértékben ezeken a fémhuzalokon alapul.


A porlasztott célanyagokat főként az elektronikai és információs iparban használják, mint például integrált áramkörök, információtárolók, folyadékkristályos kijelzők, lézermemóriák, elektronikus vezérlőeszközök stb.; Üvegbevonat területén is alkalmazható; Alkalmazható olyan iparágakban is, mint a kopásálló anyagok, a magas hőmérsékletű korrózióállóság és a csúcsminőségű dekorációs termékek.