itthon > hírek > Iparági hírek

Minden, amit az ITO porlasztási célpontjáról tudni kell

2023-03-10


Az ITO teljes neve indium-ón-oxid, amely indiumból, ónból és oxigénből áll különböző arányban. Az ITO és az ITO porlasztó céltárgy anyaga megegyezik. Ez utóbbi tulajdonképpen egy fekete szürke kerámia félvezető, amelyet indium-oxid és ón-oxid por meghatározott arányú keverésével hoznak létre.


Az ITO porlasztási céltárgy gyártási módszere


Vákuumos meleg sajtolás


A vákuumos melegsajtolás hőt és mechanikai energiát használ az ITO por tömörítésére, és nagy sűrűségű ITO kerámia céltárgyakat tud előállítani 91% - 96% sűrűséggel. Ezzel a módszerrel könnyen kaphatunk olyan ITO-célpontokat, amelyek sűrűsége közel van a várt sűrűséghez, és porozitása közel nulla. A berendezések és a formaméret korlátai miatt azonban a vákuum-melegsajtolásnak kevésbé van előnye a nagyméretű porlasztócélok elkészítésében.


Forró izosztatikus nyomás


A forró izosztatikus préselés (HIP) nyomás alatti szintereléssel vagy magas hőmérsékleten történő túlnyomással készíti elő az ITO porlasztási célpontjait. A vákuumos melegsajtoláshoz hasonlóan a HIP-vel nagy sűrűségű (majdnem elméleti sűrűségű) és kiváló fizikai és mechanikai tulajdonságokkal rendelkező termékeket állíthatunk elő melegítés és nyomás alatt. Ezt azonban korlátozza a berendezés nyomása és a henger mérete is


Normál hőmérsékletű szinterezés


A szobahőmérsékletű szinterezés a nagy sűrűségű célelőformák szuszpenziós öntéssel vagy elősajtolással történő előállítása, majd szinterezése az ITO cél elérése érdekében bizonyos atmoszférában és hőmérsékleten. Legnagyobb előnye, hogy nagy méretű porlasztó céltárgyat képes előállítani. Más szinterezési módszerekkel összehasonlítva azonban az ezzel a módszerrel előállított céltárgy tisztasága alacsonyabb


Hideg izosztatikus nyomás


A hideg izosztatikus préselés (CIP) gumit vagy műanyagot használ bevonóanyagként és folyadékot nyomóközegként az ultramagas nyomás szobahőmérsékleten történő átviteléhez. A CIP nagyobb ITO-porlasztási célokat is elő tud készíteni. Olcsó és tömeggyártásra is alkalmas. A CIP azonban megköveteli, hogy az anyagok magas hőmérsékleten 1500–1600 °C-on 0,1–0,9 MPa tiszta oxigén környezetben menjenek át, ami nagy kockázattal jár.


ITO cél/ITO fólia/ITO vezetőképes üveg


Ez a három szó összefügg egymással. Röviden, az ITO vezetőképes üveget úgy állítják elő, hogy egy ITO vékony filmréteget egy ultravékony üvegre porlasztanak vagy elpárologtatnak. Itt az ITO-célpont az indium-ón-oxid atomok forrása; Amikor ezeket az indium-ón-oxid atomokat a szubsztrátumra (üvegre) rakják le, ITO filmet kapunk. Az ITO fóliával bevont üveget ITO vezetőképes üvegnek nevezik


Az ITO porlasztási célpont alkalmazása


Az ITO porlasztó célpontot és származékait, mint például az ITO fóliát, az ITO üveget széles körben használják a különböző iparágakban. Az ITO targetet gyakran használják folyadékkristályos kijelzők (LCD), lapos képernyők, plazma kijelzők, érintőpanelek és egyéb kijelzők átlátszó vezető bevonatainak gyártására. Az ITO fóliát szerves fénykibocsátó diódákhoz, napelemekhez és antisztatikus bevonatokhoz használják. Az elektronikai ipar mellett az ITO targetet különféle optikai bevonatokhoz is használják, a leghíresebbek az infravörös reflexiós bevonat és az autók nátriumgőzlámpa üvegei