itthon > hírek > Iparági hírek

Bevezetés a kerámia céltárgyakba

2023-03-10


A kerámia céltárgyak viszonylag törékenyek. Általában a kerámia céltárgyak a hátlapokhoz vannak kötve használat céljából. A hátlapok nemcsak a porlasztási folyamat során támaszthatják alá a kerámiatárgyakat, hanem szerepet játszhatnak a porlasztási folyamat során a hőátadásban is. Sokféle kerámia céltárgy létezik, amelyek széles körben alkalmazhatók, főként mikroelektronikában, kijelzőben, tárolásban és egyéb területeken. A nemfémes filmipar fejlesztésének alapanyagaként a kerámiacélok példátlan fejlődést értek el

Kerámia céltárgyak típusai és alkalmazásai

Alkalmazás szerint felosztható félvezetőhöz kapcsolódó kerámia céltárgyra, kijelző kerámia céltárgyra, mágneses rögzítő kerámia célpontra, optikai rögzítő kerámia céltárgyra, szupravezető kerámia célpontra, óriás mágneses ellenállású kerámia céltárgyra stb.

A félvezetőkkel kapcsolatos kerámia céltárgyakat (HfO, SiO, Si3N4, MoSi, TaSi, WSi, TiSi, PLZT, ITO) főként rács-dielektromos fóliában, dobófóliában, diffúziós gátfóliában, kondenzátorszigetelő fóliában, átlátszó vezető fóliában használják;

ZnS-Mn, ZnS-Tb, ZnS-Sm, CaS-Eu, SrS-Ce, Si3N4, MgO kerámia céltárgyak megjelenítése, főként elektrolumineszcens vékonyfilm lumineszcens rétegben és elektrolumineszcens vékonyréteg szigetelőrétegben

Mágneses rögzítő kerámia céltábla Si3N4, főként mágneses fej és magneto-optikai lemez (MO) védelmére;

Optikai rögzítő kerámia rake anyag Si3N4, főleg optikai lemez védőfóliához használt;

Az YbaCuO és BiSrCaCuO szupravezető kerámia céltárgyakat főként szupravezető vékony filmekben használják;

Óriási mágneses ellenállású kerámia célpont, amelyet főként vékony filmes napelem ablakban használnak;

Egyéb alkalmazási célok: InO, LiNbO, BaTiO, PZT ZnO, főként napelemekben és piezoelektromos fóliákban

A kémiai összetétel szerint oxidkerámia célpontra, szilicid kerámia célpontra, nitrid kerámia célpontra, fluorid kerámia célpontra és szulfid kerámia célpontra osztható. Közülük az ITO kerámiacélt széles körben gyártották és alkalmazták Kínában. A nagy dielektromos szigetelőfóliához készült kerámiacél és az óriási mágneses ellenállású kerámiacél széles alkalmazási lehetőségekkel rendelkezik

Például az oxid-kerámia porlasztó célpont a legáltalánosabb célpont a fejlett kerámia porlasztó célok között. Az oxidkerámiák magas hőmérsékleten történő szinterezéssel állíthatók elő. Egy vagy több oxid a fő komponens, míg a többi másodlagos oxid adalékanyag. Egyszerű oxidkerámiára és összetett oxidkerámiára oszthatók. Az ilyen típusú gyakori porlasztási célpontok közé tartozik az alumínium-oxid (Al2O3), a magnézium-oxid (MgO), a berillium-oxid (BeO), a cirkónium-oxid (ZrO2) stb. A legtöbb oxidkerámia magas olvadásponttal, kiváló szigeteléssel, hőállósággal, antioxidáns- és korrózióállósággal rendelkezik. . Ezért hosszú ideig ki vannak téve magas hőmérsékletnek és oxidációs környezetnek, és érdemes a mérnöki területen széles körű alkalmazásra.

Kerámia céltárgy előkészítési folyamata

Szárítás: a kiindulási nyersanyagot mérleg előtt 3-6 órára helyezze a sütőbe, és a szárítási hőmérséklet 100-120

Hozzávalók: mérjük le a szárított alapanyagokat a megfelelő sztöchiometrikus arány szerint;

Golyós őrlés: a kimért nyersanyagokat meghatározott módon keverje össze, és a keverési idő 4-12 óra, hogy egységes zagyot kapjon;

Szárítás: az elkészített egységes zagy szárítása;

Kalcinálás: szitáljuk át a szárított port és óvatosan nyomjuk tömbbe, és tegyük tokos kemencébe, kalcináljuk 800-950 °C-on 4-8 órán keresztül.

Golyós őrlés: a kalcinált port finom porrá őröljük, golyós őrlést és ismét szárítást kapunk, hogy kerámiaport kapjunk;

Hasábkészítés: az 5-20 mm átmérőjű és 0,5-1,2 mm vastagságú mintákká készített kerámiaport kézzel, acélformával préseljük, a mintákat hideg izosztatikus présbe tesszük, 200-350 MPa nyomást alkalmazunk, és tartsa a nyomást 60-180 másodpercig a kerámia test elkészítéséhez;

Szinterezés: helyezze az elkészített kerámiatestet tokos kemencébe, és szinterelje 1100-1200 °C-on

Hűtés: természetes hűtés szobahőmérsékletre, azaz egy bizonyos kerámia céltárgy készül

Megjegyzés: A megadott hőmérséklet és idő csak referenciaadatként szolgál

A kerámia céltárgy jellemző követelményei

Tisztaság: A kerámia céltárgy tisztasága nagyban befolyásolja a porlasztott film teljesítményét. Minél nagyobb a tisztaság, annál jobb a porlasztott film egyenletessége és a tételes termékek minőségének állandósága

Sűrűség: A kerámia céltárgy porozitásának csökkentése és a fólia teljesítményének javítása érdekében a porlasztó kerámia céltárgynak nagy sűrűségűnek kell lennie

Összetétel és szerkezeti egyenletesség: A porlasztott film egyenletességének biztosítása érdekében, különösen a komplex nagy felületű bevonat alkalmazásakor, a cél összetételének és szerkezeti egyenletességének jónak kell lennie.